这两家公司研发的EUV光刻胶还没有达到可靠性验证的水平
2022-12-17 15:41 来源：IT之家 阅读量：4149
据国外媒体报道，本周早些时候，有国外媒体报道称，多年前一直试图重建EUV光刻胶供应链的三星电子，首次将韩国本土制造商靳东视美肯的EUV光刻胶用于他们的一条量产生产线。
据国外媒体报道，除了已经在三星电子的一条大规模生产线上使用的靳东石美肯，南韩还有两家公司正在开发EUV光刻胶。
外媒在报道中提到的两家公司是永昌化学和SK材料，但这两家公司研发的EUV光刻胶还没有达到可靠性验证的水平。
三星电子等韩国半导体制造商试图重组EUV光刻胶供应链，这与2019年日本对韩国关键原材料和设备的出口限制有关之后，韩国公司开始尝试本地供应
产品已进入三星电子一条量产线的靳东视美肯，在三星电子尝试重组EUV光刻胶供应链后，开始了相关产品的研发他们研发的EUV光刻胶在三星电子花城园区验证了几个月，去年底通过了可靠性验证
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