项目宣传文件称我国对特种含氟电子气体的工业化生产技术有迫切需求

东西6月10日报道最近几天，俄罗斯工业贸易部宣布，将在2022年底前限制氖，氪，氙等稀有气体的出口这些气体的出口必须得到俄罗斯政府的批准据俄罗斯媒体报道，俄罗斯已对不友好国家启动霓虹制裁

俄乌战争爆发以来，氖气，氪气，氙气等稀有气体价格都大幅上涨，高纯氖气涨幅超过十倍周一，特种燃气概念股a股普遍上涨，其中华特燃气上涨近15%，昊华科技，河源燃气，金鸿燃气等特种燃气供应商股价均上涨

周一，工业气体板块飙升。

同时，俄乌战争以及随后多国对俄罗斯的制裁，推动了国内玩家的扩张和布局今年3月以来，华特电子，金鸿燃气，凯美特燃气，河源燃气等国内重点供应商均发布了新的扩产布局计划

目前，在全球电子特种气体市场上，美国空气化学集团，法国液化空气集团，日本大洋日酸株式会社，美国林德集团等行业领军企业占据80%以上的市场份额俄罗斯制裁扩产大潮下的国内半导体供应链的气体玩家，正从光刻气体，硅烷，砷烷等细分行业逐步扩大市场份额

东西方不完全统计，国内特气玩家扩张计划

首先，乌克兰霓虹灯供应商卷入战争，或仅满足全球需求的一半。

氖是炼钢的副产品，主要产地是乌克兰和俄罗斯俄罗斯钢铁工业将生产出来的氖送到乌克兰进行提纯和其他操作高纯稀有气体混合物可用作光刻气体，是半导体制造光刻工艺中的关键材料此外，这些稀有气体还可以用于刻蚀等其他环节

乌克兰主要的氖供应商有Cryoin，Ingas和Iceblick，其主要生产基地位于乌克兰马里的乌波尔，敖德萨等地总的来说，乌克兰提供了世界上70%的氖，40%的氪和30%的氙

俄乌战争爆发后，乌克兰天然气供应商的生产和销售受到很大影响，一些公司的生产基地甚至成为战争的核心战场。

马里钢铁厂

Ingas首席商务官Nikolay Avdzhy在给路透社的邮件中表示，在冲突爆发前，Ingas每月可以为韩国，中国，美国和德国的客户生产15000至20000立方米的氖气，其中约75%用于芯片行业。

Cryoin的业务发展总监Larissa bondarenko表示，该公司在乌克兰敖德萨每月可以生产约1万至1.5万立方米的氖气，但该公司于2月24日停止了运营，以确保员工的安全。

据统计，这两家乌克兰天然气公司供应了全球45%—54%的半导体级氖气有分析称，如果乌克兰的氖气生产商继续停产，2022年该国氖气产能不会超过270吨

虽然乌克兰的氖气供应能力大大降低，但目前氖气的短缺和成本的上升尚未对芯片制造产生关键影响因为2015年半导体行业已经经历了稀有气体的激增，有了普遍的预警和准备

早在2015年，乌克兰和俄罗斯的冲突就导致了氖气价格的上涨当时氖的价格上涨了600%，对半导体供应链影响很大

2015年后，半导体企业普遍采取开源，减少氖气供应的措施，在减少氖气用量的同时转向多元化供应模式。

节流方面，光刻机中两大光源供应商Cymer和Gigaphoton在2014年和2015年氖气涨价后，减少了氖气的用量，并开发了氖气回收技术，减少了97%的氖气用量。

不过，也有业内人士指出，大部分企业的稀有气体库存都在半年以内如果俄乌战争持续时间过长，氖的短缺仍然会对芯片供应造成损害

浙商证券研究报告显示，2022年6月2日，我国氪气，氙气，氖气市场价格分别为5.45万元/立方米，54.3万元/立方米，1.8万元/立方米氪气和氙气都比战前高2—3倍，而战前的氖气价格只有1500元/立方米左右

高纯氖工厂和市场价格的变化

二国内气体供应商发展迅速，已获得ASML，英特尔和美光的认证

英特尔，ASML，美光等国际巨头对氖气短缺信心很大，国内相关气体供应商的快速增长也有阴影。

特种气体是指用于特定领域，对纯度，品种和性能有特殊要求的气体混合的氖，氪，氙等气体是特殊气体之一

电子在半导体生产中的应用

对于半导体工业来说，需要多种特殊气体在芯片制造过程中的硅片制造，氧化，光刻，薄膜沉积，刻蚀，离子注入等过程中，需要的特殊气体有50多种下游客户往往希望从一个供应商处采购多种产品，这对供应商的产品类型和技术提出了更高的要求

在特种电子气体领域，德国林德集团，法国液化空气集团和美国空气化学产品集团是全球三大气体供应商，占2019年全球电子气体市场份额的70%。

2019年全球工业气体市场份额

在国内玩家中，成立于1999年，2019年在科技创新板上市的华特燃气是国内特种燃气玩家的代表。

华特燃气是国内首家打破高纯六氟乙烷，高纯三氟甲烷，高纯八氟丙烷，高纯二氧化碳，高纯一氧化碳，高纯一氧化氮，Ar/F/Ne混合物，Kr/Ne混合物，Kr/F/Ne混合物等产品进口限制的燃气公司它也是中国唯一一家通过ASML和光刻机激光光源供应商Gigaphoton认证的气体公司

在德国林德集团，法国液化空气集团，美国空气化学产品集团，日本昭和电气等国外燃气公司的寡头垄断下，瓦尔特气体覆盖国内80%以上的8英寸集成电路厂商，客户包括SMIC，华虹李鸿，长江存储，武汉新芯，华润微电子，TSMC，和舰科技，士兰威等，而且还进了英特尔，美光，德州仪器，SK海力士，英飞凌

2014年和2015年俄罗斯和乌克兰发生冲突后，瓦尔特气体的氖气和氪气供应开始从乌克兰转向中国。

根据2019年华特燃气招股书，其粗氖供应主要来自北京首钢制氧厂，临沂启元燃气有限公司，邯郸邯钢关联企业特气有限公司等国内企业，对乌克兰氖供应背后的气体经销商EAST RAY DISTRIBUTIONS LTD的份额清零。

沃尔特氖气的供应情况

其氪气供应也从东方射线配送有限公司转向安徽天朗燃气发展有限公司，北京首钢氧气厂，法国液化空气集团，韩国惰性气体有限公司等公司。

今年4月，华特燃气宣布向不特定对象发行可转换公司债券，募集资金建设年产1764吨半导体材料建设项目，研发中心建设项目，补充流动资金。

其中，年产1764吨半导体材料建设项目计划投资4.66亿元，计划两年后投产建成后将生产1764吨高纯一氧化碳，高纯一氧化氮，六氟丙烷及其异构体，溴化氢，三氯化硼，超高纯氢，超纯氪，超纯氖，超纯氦，超纯氙

截至6月10日a股收盘，华特燃气股价为71.01元/股，涨幅5.39%，总市值85.21亿元。

国内三四玩家集体扩产，专攻半导体特种气体。

除瓦尔特燃气外，南大光电，凯美特燃气，昊华科技，河源燃气等国内特种气体供应商都开始了新的布局和扩产。

金色燃气成立于1999年，总部位于苏州，2020年6月在科技创新板上市招股书显示，其生产的超纯氨，高纯一氧化二氮等超纯气体得到了国内知名电子半导体厂商的认可

香港气体产品介绍会

一方面，全球新冠肺炎疫情极大地影响了氦气的生产和运输，另一方面，俄乌战争爆发后，法国液化空气集团等国际天然气巨头集体对俄罗斯实施制裁，导致后者生产，运输和销售氦气困难重重此外，中美关系紧张也增加了购买氦气的难度

截至今日收盘，金鸿燃气股价19.30元/股，涨幅2.55%，总市值93.73亿元。

凯美特气体成立于1991年，总部位于湖南省岳阳市，主要经营干冰，食品添加剂液体二氧化碳等工业气体2011年2月，科美特登陆深交所主板

梅开特奇

2017年，凯美特燃气建成25套电子特种气体生产装置，进军半导体领域今年3月，凯美特燃气在投资者交流活动中重点分享了氪氖氙气产能，其中氪11750立方米，氙900立方米，氖68000立方米此外，凯美特燃气还计划在上游巴陵石化公司新建的空分设备中安装稀有气体提取装置，预计未来将实现稀有气体氦，氖，氪，氙的自给自足

日前，凯美特拟募资10亿元建设宜章凯美特特种气体项目和福建双氧水项目张凯美特特种燃气项目投资7.5亿元建成后，产品主要包括电子氯化氢，电子溴化氢，电子碘化氢，氟基混合气体，电子三氟化氯，电子乙炔和氘气

福建凯美特双氧水项目总投资5.2亿元，计划年产30万吨食品和电子级双氧水其产品可用于清洗和蚀刻大规模集成电路，液晶显示器和半导体

在投资者问答中，凯美特奇还提到，其电子特种气体产品正在批量发货，正在积极推进ASML认证。

梅开特奇投资者问答

今日收盘后，凯美特燃气股价15.26元/股，涨幅10.02%，总市值95.18亿元。

河源燃气成立于2003年，总部位于湖北宜昌，2020年在深交所主板上市其产品包括氩气，氦气，医用氧气，工业氧气，氮气和特殊气体，客户包括特杰半导体，智锐半导体，祁宏光电，TCL等

今年3月，河源燃气投资河源新材料，在宜昌高新技术产业开发区建设电子特种燃气及功能材料项目一期工程总投资18亿元该项目主要产品为三氟化氮，六氟丁二烯，功能性硅烷等电子特种气体，可广泛应用于半导体，集成电路，微电子，太阳能电池，光纤等领域

和远气扩张公告。

项目宣传文件称，我国对特种含氟电子气体的工业化生产技术有迫切需求由于欧美日韩等发达国家的严格技术封锁，特种含氟电子气的制备成为瓶颈技术

该项目生产的含氟电子特种气体是制造人工智能芯片，超大规模集成电路，液晶显示器件，半导体光发射器，半导体材料的关键基础材料，对推动我国芯片自主可控具有重要意义。

截至今日收盘，河源燃气股价为22.52元/股，上涨3.73%，总市值36.03亿元。

南大光电有限公司成立于2000年源于南京大学孙教授承担的高纯金属有机化合物国家七五科技项目，2012年在深交所上市自此，南大光电业务从半导体MO源材料逐步拓展到光刻胶，前驱材料，特种气体

今年6月，南大光电提交了向不特定对象发行可转换公司债券的招股说明书，拟募集资金9亿元南大光电披露，将投资1亿元用于年产140吨高纯磷烷，砷烷扩产项目，投资5亿元用于乌兰察布南大微电子材料有限公司年产7200吨电子级三氟化氮项目

南大光电创始人，名誉董事长孙

今日收盘后，南大光电股价30.71元/股，总市值166.98亿元，涨幅2.64%。

结论:各国在半导体上角力，国内特气玩家可能会遇到很好的发展机遇。

除了战争，这次俄乌冲突还上演了一场半导体乃至整个科技行业的角力赛。

美欧等国家和地区利用其在芯片设计领域的优势，对俄罗斯的半导体和科技产业发起制裁，俄罗斯利用稀有气体等供应优势反制，从而影响整个半导体供应链。

对于中国的半导体供应链来说，自主和安全仍然是发展的关键这次氖气的短缺可能会成为国内特种气体供应商加快进入晶圆厂生产线的契机，从而占据更大的市场地位

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